早在今年2月中旬，日本福島發(fā)生7.3級地震發(fā)生后，信越化學(xué)KrF光刻膠生產(chǎn)以及海外供貨就受阻，當(dāng)時下游代理商考慮配合運輸與相關(guān)成本提高，調(diào)漲新合約報價。

    據(jù)行業(yè)人士透露，由于地震原因，信越化學(xué)KrF光刻膠產(chǎn)線受到很大程度的破壞，至今尚未完全恢復(fù)生產(chǎn)，在產(chǎn)線受到影響和晶圓廠擴產(chǎn)等多方因素下，信越化學(xué)不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應(yīng)KrF光刻膠。雖然東京應(yīng)化（TOK）填補了信越化學(xué)海外大部分缺失的KrF光刻膠產(chǎn)能，但目前仍存在不小的缺口。據(jù)悉，全球半導(dǎo)體光刻膠被日本合成橡膠（JSR）、TOK、住友化學(xué)、信越化學(xué)，以及美國陶氏化學(xué)所主導(dǎo)。JSR是現(xiàn)在全球最大的，技術(shù)是最領(lǐng)先的光刻膠龍頭，Intel、三星和臺積電都是JSR核心客戶，I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產(chǎn)品全覆蓋。TOK專注于做光刻膠及配套試劑，在G線、I線，KrF和ArF都有些市場份額。陶氏的光刻膠事業(yè)部已經(jīng)并入杜邦，客戶是Intel、IBM體系，但在大陸市場占有率不是很高。信越化學(xué)主要切入點就是從KrF和ArF開始，EUV光刻膠也在開發(fā)，在中國大陸有不少FAB廠客戶。

    今年以來，除了臺積電、三星、英特爾、  聯(lián)電等晶圓廠積極擴產(chǎn)外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴產(chǎn)和產(chǎn)能釋放，這也就導(dǎo)致國內(nèi)光刻膠需 求量遠大于本土產(chǎn)量，且差額逐年擴大，尤其是在高端KrF、ArF等半導(dǎo)體光刻膠。然而，截至目前，國內(nèi)能夠批量供應(yīng)KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數(shù)不多。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%，而國內(nèi)g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。

光刻膠大漲